根据废气的性质和处理过程，有多种挥发性有机化合物废气处理设备。
常见的VOCs废气处理设备有：
1.活性炭吸附设备与催化燃烧
该净化装置是根据吸附(高效)和催化燃烧(节能)两个基本原理设计的，即吸附浓缩-催化燃烧法。
含有有机物的废气经风机作用后通过活性炭吸附层，通过活性炭的特殊作用力将有机物吸附在内部，排出清洁气体；当活性炭经过一定时间达到饱和状态时，吸附停止，有机物已经被活性炭浓缩。
本发明设置加热室，启动加热装置，进入内循环；当热气源达到有机分子的沸点时，活性炭中的有机分子挥发并进入催化室催化分解成水和二氧化碳，同时释放能量。在此过程中，所释放的能量进入吸附床内，加热装置完全停止工作，有机废气在催化燃烧室内保持自燃，尾气循环再生，直到有机物与活性炭完全分离并在催化室内分解。活性炭再生，有机物分解。
2.蓄热式焚烧炉
再生炉主要包括再生室、氧化室、风机等。它通过蓄热吸收废气氧化的热量，并利用该热量对新进入的废气进行预热，从而有效减少废气处理后的热量排放，节省废气氧化升温过程中的热量损失，保持废气高温氧化时的高热效率。温度达到95%。其设备安全可靠，操作简单，维护方便，运行成本低，挥发性有机化合物去除效率高。
3.光催化氧化设备
光催化氧化废气除臭设备是一种处理工业废气及异味及恶臭气体的高效净化设备，其使用特制的高能量高臭氧UV紫外光束照射废气，能将氨气、三甲胺、硫化氢、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳、苯乙烯、VOC类等分子链结构裂解，使有机或无机大分子恶臭化合物分子链在高能紫外光束照射下降解转化为低分子化合物。
4.低温等离子设备
低温等离子体技术是近年来发展起来的一项废气处理新技术，其核心是利用低温等离子体产生高能电子，将各种有害有机因子直接分解成各种工业废气中的有机因子，使之迅速形成小分子碎片，可降解成CO2、H2O等，从而实现对车间生产废气的全面降解。
在世界范围内，大约93%(18亿)的18岁以下儿童存在健康问题，甚至因呼吸污染空气而过早死亡。该报告显示，2016年60万儿童因空气污染而急性呼吸道感染。根据南京大学的研究，2013年中国74个主要城市PM2.5与死亡人数的三分之一有关联。
工业生产中二氧化硫、氮氧化物和有机化合物的排放是治理雾霾的主要手段。企业应对挥发性有机化合物废气处理负主要责任。除工业企业外，VOC排放源较多，应严格控制汽车尾气的排放，VOC是产生PM2.5的主要化学物质。
